工具測量顯微鏡是一種高端的顯微鏡系統，它通常結合了金相顯微鏡的觀察功能和精確的測量平臺，以實現對樣品的三軸（XYZ）測量。這種顯微鏡系統特別適用于需要高精度尺寸測量的行業，如半導體晶圓尺寸、金線高度、薄膜、LCD，五金工具等。
一、產品介紹
1）顯微鏡類型：手動工具測量顯微鏡;
2）放大倍數：放大50、100、200、500倍；可以選配1000倍
3）光源類型：5W白光LED燈；
4）視場數：22mm；
5）照明方式：反射光/透射光；
6）觀察方法：明場/暗場/偏光/DIC；（具體以配置為準）
7）微分干涉：DIC微分干涉成像；（選配）
8）輔助聚焦裂相系統；（選配）
9）物鏡轉盤：5孔/6孔物鏡轉盤；
10）載物臺結構：三層機械結構高精度移動載物臺；
11）測量行程：詳情見規格參數表；
2、高精度手動載物臺
1）平臺光柵顯示精度值0.5um，可以選配0.1um；
2）XY軸傳動方式：手動；
3、Z軸為手動控制,測量準確度
1）Z軸光柵顯示精度值0.5um（可以選配0.1um），測量精度在3-5um
2）傳動方式：手動；
二、型號規格表
規格型號 | 測量行程 | ||
X軸 | Y軸 | Z軸 | |
BT-2015 | 200mm | 150mm | 150mm |
BT-3020 | 300mm | 200mm | 150mm |
BT-4030 | 400mm | 300mm | 150mm |
三、配置參數
光學系統 | 無限遠光學系統 |
觀察頭 | 30°傾斜，正像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節 :50-76mm，兩檔分光比 100/0 或 0/100 |
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡 PL10X/22mm，可帶測微尺 |
轉換器 | 內定位 5 孔轉換器 |
物鏡 | 5X無限遠長工作距平場消色差金相 DIC 物鏡 |
10X無限遠超長工作距平場消色差金相 DIC 物鏡 | |
20X無限遠超長工作距平場消色差金相DIC物鏡 | |
50X無限遠長工作距平場明場消色差金相物鏡 | |
100X無限遠超長工作距平場明場半復消金相物鏡 | |
放大倍率 | 光學放大倍率 ：50X-1000X |
系統放大倍率 ：135X-2700 | |
測量顯微鏡主體 | 手動Z軸調焦，行程以型號規格為準； 測量精度，X 和 Y ：（2+L/200)μm，L 為測量長度（單位 mm） Z:（3+L/200)μm |
照明系統 | 明場反射照明器，帶明場照明切換裝置 ；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽，帶 5WLED 燈源，亮度可調（含托架適配器） |
輔助對焦模塊，帶對焦分劃板兩檔 | |
調焦方式 | 手動復合型粗微調手輪調節，精度0.001mm，調焦距離 175mm |
偏振光 | 起偏鏡插板，360°旋轉式檢偏鏡插板 |
DIC 組件 | 微分干涉組件 |
相機 | 1）630萬有效像素; 2）1/1.8"CMOS芯片，單個像素面積2.4X2.4um; 3）半導體制冷; 4）采用OTC真彩還原技術，具有優良的色彩還原效果； 5）高靈敏度，*短曝光時間10ms； 6）高速USB3.0數據傳輸； 7）標準C-mount視頻接口； |
攝像接口 | 0.65X CTV、C 型接口、可調焦 |
PC | 戴爾電腦OptiPlex 3050MT操作系統W10處理器芯片I5-10500， 23寸戴爾顯示器 |
軟件 | 1）實時影像觀察; 2）實時圖像抓取; 3）二維幾何尺寸測量; 4）測量結果報表輸出; 5）多分辨率切換; |
標尺 | 0.01mm |
效果圖
具體配置以實際確認為準；
